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硅化釩,VSi2 

發布時間:2016/05/13
硅化釩,VSi2






二硅化釩_600.png

分線界-相關數據.jpg

硅化釩:化學式VSi2。分子量107.11。金屬狀棱柱晶體。相對密度4.42。

不溶于冷水和熱水,溶于氫氟酸,不溶于乙醇、乙醚和酸。制法:由按配

比的五氧化二釩與硅于1200℃反應,或將按配比的金屬釩直接于高溫下與

硅反應可得。用途:用于制耐酸、耐火材料。
1. 制備硅化釩薄膜。用大束流密度的釩金屬離子注入硅,能夠直接合成

性能良好的薄層硅化物。隨束流密度的增加,硅化釩相生長,薄層硅化物

的方塊電阻RS 明顯下降,當束流密度為25μA/cm2 時,Rs 達到最小值22Ψ,

說明連續的硅化物已經形成。X 衍射分析表明,注入層中形成了V3Si 、V5Si3 、

V3Si5 和VSi2 四種硅化釩。經過退火后,Rs 明顯地下降,Rs 最小可降到9Ψ,

電阻率可小到72μΨm ,說明硅化釩薄層質量得到了進一步的改善,大束流密

度注入和退火后,硅化釩相進一步生長。大束流密度注入和高溫退火(1200 ℃)

仍然具有很低的薄層電阻率,這充分說明硅化釩具很好的熱穩定性。透射電子

微鏡觀察表明,連續硅化釩薄層厚度為80nm 。
 2. 硅化釩是一種吸聲陶瓷材料,在基體層表面涂覆具備吸聲性能的表面層,

兩者結合制備得到吸聲陶瓷材料,既具有吸聲功能,又具備良好的防塵、

防火等性能,使用壽命顯著延長。


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